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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-708系列 離子濺射設備,用于大型基材的全涂層 濺射靶材的尺寸為1英寸,例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。 在形成微通道流動路徑以及濺射薄膜制造時支持PDMS表面處理
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ 支持W(鎢)/ Ni(鎳)/ Cr(鉻)/ Ti(鈦)等成膜的DC濺射設備。 使用磁控管陰極 內置微型計算機對成膜過程進行高精度控制
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC 使用磁控管陰極以減少離子損傷 排氣→涂層→全自動,直到進入大氣 磁控管陰極有助于生產高質量的濺射薄膜
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT 排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進入大氣 盡管是緊湊型,但仍可以進行膜厚控制(簡單型) 全自動濺射設備,操作簡便,重現(xiàn)性高
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機型 小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜 標配間歇濺射功能