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晶圓拋光晶片拋光過程中旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的平面度檢測(cè)設(shè)備推薦

發(fā)布時(shí)間：2024-12-11　點(diǎn)擊量：134

晶圓拋光晶片拋光過程中旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的平面度檢測(cè)設(shè)備推薦

在半導(dǎo)體制造設(shè)備的晶片拋光過程中，需要保持裝有晶片的上板和鋪有拋光布的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)（下板）的平面度。如果出現(xiàn)問題，晶圓就會(huì)厚度不均勻，不平整，無法進(jìn)行均勻的拋光。此外，曝光期間圖像也會(huì)失焦。

晶圓的平整度對(duì)于后續(xù)的曝光工藝至關(guān)重要，因此在拋光過程中必須保持平整。

我們的數(shù)字水準(zhǔn)儀用于保證上下平臺(tái)的平整度。

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有線2軸精密數(shù)字水平儀SELN-001B

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這款 2 軸數(shù)字水平儀（有線）是一款高精度且輕便的水平儀。與普通水平儀相比，它可以數(shù)字化顯示，使現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整更加容易。此外，由于顯示器和水平儀通過電線連接，因此可以從遠(yuǎn)處進(jìn)行測(cè)量。由于它重量輕，因此還可以測(cè)量精細(xì)區(qū)域，例如處理晶圓的區(qū)域。監(jiān)視器屏幕上將顯示氣泡，您可以像查看氣泡水平儀一樣進(jìn)行調(diào)整。由于它是數(shù)字顯示的，操作員之間的讀數(shù)沒有變化。


特征

01水平X軸和Y軸的角度精度為±0.001deg（17.5μ/m）。

02在垂直距離較窄的地方進(jìn)行水平觀察也可以！

在垂直距離較窄的地方進(jìn)行水平觀察也可以！

03即時(shí)數(shù)字測(cè)量判斷使標(biāo)準(zhǔn)化工人標(biāo)準(zhǔn)成為可能。

042軸同時(shí)調(diào)整可減少調(diào)整工作時(shí)間。

05通過設(shè)定可接受的角度范圍，即使是初學(xué)者也可以輕松調(diào)節(jié)水平！ ！

監(jiān)控詳情

 

規(guī)格

物品
內(nèi)容
傳感器部分線性角X方向±0.3度 Y方向±0.3度
測(cè)量分辨率0.0002度
零點(diǎn)重復(fù)性±0.001度或更小
響應(yīng)速度50 毫秒或更短
工作溫度-10℃～＋50℃
主體微電腦32位
模數(shù)部分14位
測(cè)量范圍±0.3度
A/D分辨率0.000025度
顯示單元0.0001度
通過范圍設(shè)定范圍0.0001度
量程切換0.01/ 0.001/ 0.0001
超過顯示0.3度以上
功能傳感器連接數(shù)1通道
顯示部分4.3英寸彩色液晶觸摸屏

480×272點(diǎn)
電源
專用AC適配器DC6V/2A

4 節(jié) AA 電池（1.5V）
外形尺寸監(jiān)視器寬96×深36×高145毫米
傳感器（SUS底座）φ50×H19毫米
電纜2米
重量監(jiān)視器392克
傳感器70克
配件
4 節(jié) AAA 電池（1.5V）

專用AC適配器DC6V/2A

操作說明