• 使用應變體和電容位移計進行高分辨率微力測量

• 動態(tài)范圍 80db 緊湊輕便

• 最小分辨率10μN

• 能夠同時測量兩個軸：載荷方向和摩擦方向

• 也可以作為單個傳感器出售（需要電容式位移計）

傳感器主要部分：

• 使用電容位移計

應變體：

• 鋁塊中空結構，三柱作為板簧，通過微小的外力獲得板簧的應變位移

檢測方法：

• 使用傳感器探頭將板簧的位移捕獲為電容的變化

• 在板簧和傳感器探頭之間設有特殊的保持機構，通過微小間隙調整來安裝傳感器探頭。

• 應變體因外力而產生的位移量在彈性極限內，且與外力的強度成正比，因此采用電容位移計來測量位移量。

• 撓曲元件前后安裝限位器，間接測量外力，避免損壞傳感器。